摘要：三氟化氮等離子清洗裝置是工業(yè)清洗的新利器，具有高效、環(huán)保、節(jié)約成本等優(yōu)點，倍受工業(yè)界的青睞。本文將從四個方面對三氟化氮等離子清洗裝置進行深入剖析，讓讀者了解其原理、優(yōu)勢、適用領(lǐng)域和前景。正文：一、原理及技術(shù)三氟化氮等離子清洗技術(shù)是在一定的氣壓和放電條件下，利用空氣中的自由基反應(yīng)，將材料表面污物化學(xué)氧