摘要：本文從優(yōu)化干法刻蝕前清洗設(shè)備，提升制造效率的角度出發(fā)，對(duì)清洗設(shè)備的優(yōu)化方案進(jìn)行了深入研究。通過分析現(xiàn)有的清洗設(shè)備存在的問題，提出科學(xué)、高效的優(yōu)化措施，以期為實(shí)現(xiàn)制造效率的提高提供有力支持。一、現(xiàn)有的清洗設(shè)備存在的問題眾所周知，干法刻蝕的前提是待刻蝕表面必須完全干燥，以確?？涛g質(zhì)量和刻蝕速率。目前，許多企業(yè)在進(jìn)行刻蝕生產(chǎn)時(shí)，還依賴于傳統(tǒng)的手工、水洗清洗方式，這種方式清洗后的物件表面難以達(dá)