摘要：本文介紹掩膜清洗裝置的清洗技術(shù)，這是一種嶄新如初的清洗技術(shù)，可以讓讀者深入了解該技術(shù)的優(yōu)勢(shì)和優(yōu)點(diǎn)。同時(shí)，文章也介紹了該技術(shù)的背景信息，引出讀者的興趣。正文：1.技術(shù)原理掩膜清洗裝置的清洗技術(shù)主要采用化學(xué)反應(yīng)原理，利用可