摘要：晶圓清洗機(jī)在半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域中扮演著不可替代的角色，而其旋轉(zhuǎn)裝置是其中至關(guān)重要的一部分。本文主要對(duì)晶圓清洗機(jī)旋轉(zhuǎn)裝置圖進(jìn)行解析，結(jié)合凱利環(huán)境集團(tuán)專業(yè)化工清洗應(yīng)用與開(kāi)創(chuàng)的化學(xué)中性清洗新技術(shù)，對(duì)旋轉(zhuǎn)裝置的構(gòu)成、工作原理、優(yōu)缺點(diǎn)以及未來(lái)可能的發(fā)展方向進(jìn)行分析。正文：一、旋轉(zhuǎn)裝