摘要：本文主要介紹晶圓清洗裝置升級設計，以提高清洗效率，實現自動化進出料為中心內容。首先，回顧了晶圓清洗的重要性和發(fā)展現狀，指出當前面臨的挑戰(zhàn)。然后，重點闡述了升級設計所涉及的技術方案和具體實現效果。最后，總結了本文的主要觀點和結論，提出了未來的研究建議。正文：一、研究背景晶圓清