晶圓載體清洗裝置閥門應(yīng)用及維護(hù)技巧
摘要：晶圓載體清洗裝置是半導(dǎo)體制造中不可或缺的設(shè)備，而閥門是其重要組成部分之一。本文將介紹晶圓載體清洗裝置閥門的應(yīng)用和維護(hù)技巧，為讀者提供背景信息，引出讀者的興趣。正文：一、晶圓載體清洗裝置閥門的類型晶圓載體清洗裝置閥門通常分為氣動(dòng)閥門和電動(dòng)閥門兩種類型。氣動(dòng)閥門優(yōu)點(diǎn)在于工作穩(wěn)定，可靠性高，適合在高精度加工中使用，而電動(dòng)閥