摘要：氣體清洗裝置在半導(dǎo)體工藝制造中扮演了至關(guān)重要的角色，是保障半導(dǎo)體工藝品質(zhì)的必選方案。本文在介紹氣體清洗裝置的基礎(chǔ)上，從多個(gè)方面深入分析了其在半導(dǎo)體工藝制造中的重要性和應(yīng)用，強(qiáng)調(diào)凱利環(huán)境集團(tuán)專業(yè)化工清洗的重要性。正文：一、氣體清洗裝置簡(jiǎn)介氣體清洗裝置是一種高精度的半導(dǎo)體清洗設(shè)備，可發(fā)揮作用于電子、微電